Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten

{"ID":5243716,"post_title":"Sol-Gel-Verfahren f\u00fcr die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten","title":"Sol-Gel-Verfahren f\u00fcr die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten","post_content":"Die homogene Beschichtung von Substraten mit widerstands-f\u00e4higen Maskenmaterialien ist ein Schl\u00fcsselschritt in der Halbleitertechnologie. Dieses Buch befasst sich mit dem \u00f6konomisch vorteilhaften Spin-Coating-Verfahren zur Applikation von geeigneten Zirkoniumdioxid-Schichten auf 300 mm Silizium-Wafern. Ausgehend von fl\u00fcssigen Solen werden \u00fcber Sol-Gel-Transformation feste Schichten erhalten, deren Eigenschaften f\u00fcr die Anwendung einstellbar sind. Mittels der entwickelten Beschichtungsstrategien sind nanokristalline Zirkoniumdioxid-Filme zug\u00e4nglich, deren ausgezeichnete Dichte- und H\u00e4rte-eigenschaften den Weg zum Einsatz als Hartmaskenmaterialien ebnen. Das Anwendungspotential wird anhand spezifischer \u00c4tzversuche gezeigt. Die aus den umfassenden analytischen Untersuchungen gewonnenen Erkenntnisse liefern einen essentiellen Beitrag zum Verst\u00e4ndnis des Temperverhaltens von Sol-Gel-Schichten.","image":"https:\/\/c4-static.dodax.com\/v2\/180-180-136539182_j8rJW-png","url":"https:\/\/www.vergleiche.ch\/unterhaltung\/product\/sol-gel-verfahren-fur-die-herstellung-von-zirkoniumdioxidschichten\/","min_price":0,"low_price_merchant_id":0,"deeplink":"","ean":9783838127873,"brand":"undefined"}