Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs

{"ID":4149953,"post_title":"Oberfl\u00e4chenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs","title":"Oberfl\u00e4chenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs","post_content":"Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfl\u00e4che von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberfl\u00e4chennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekund\u00e4rionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es m\u00f6glich macht, Oberfl\u00e4chenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome\/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen f\u00fcr gezielte \u00c4nderungen des Herstellungsprozesses.","image":"https:\/\/images.thalia.media\/00\/-\/5d1fbf2886ff46c3bd82dabf2ba4ae7a\/oberflaechenanalytische-charakterisierung-von-metallischen-verunreinigungen-und-oxiden-auf-gaas-taschenbuch-frank-schroeder-oeynhausen.jpeg","url":"https:\/\/www.vergleiche.ch\/unterhaltung\/product\/oberflachenanalytische-charakterisierung-von-metallischen-verunreinigungen-und-oxiden-auf-gaas\/","min_price":68.900000000000005684341886080801486968994140625,"low_price_merchant_id":70254503,"deeplink":"https:\/\/www.awin1.com\/pclick.php?p=41004223185&a=401125&m=13971&pref1=9783824420919","ean":9783824420919,"brand":"undefined"}