Mikrosystemtechnik

{"ID":4110939,"post_title":"Mikrosystemtechnik","title":"Mikrosystemtechnik","post_content":"Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erl\u00e4utert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien f\u00fcr Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verkn\u00fcpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die m\u00f6glichen Schnittstellen Mechanik\/Elektronik, Optik\/Elektronik und Optik\/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberfl\u00e4chenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bez\u00fcglich ihrer Kompatibilit\u00e4t zur Mikroelektronik bewertet.","image":"https:\/\/images.thalia.media\/00\/-\/a97b121f43e942ffbdcc3eb666717d7d\/mikrosystemtechnik-taschenbuch-ulrich-hilleringmann.jpeg","url":"https:\/\/www.vergleiche.ch\/unterhaltung\/product\/mikrosystemtechnik-1\/","min_price":52.89999999999999857891452847979962825775146484375,"low_price_merchant_id":70254503,"deeplink":"https:\/\/www.awin1.com\/pclick.php?p=40992832773&a=401125&m=13971&pref1=9783835100039","ean":9783835100039,"brand":"undefined"}