Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator für die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung

{"ID":4149728,"post_title":"Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator f\u00fcr die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung","title":"Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator f\u00fcr die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung","post_content":"Dieses Buch beschreibt die Entwicklung leistungsstarker Mikrowellengeneratoren bei gleichzeitiger Minimierung des Platzbedarfs. Im Fokus stehen neuartige 2,45-Gigahertz-Oszillatoren mit hohen Ausgangsleistungen im Bereich von 50 Watt. Moderne GaN-HEMTs bilden die Basistechnologie dieser Schaltungen, die sich auf einer sehr beschr\u00e4nkten Fl\u00e4che von etwa 10 cm\u00b2 realisieren lassen. \u00dcbliche Mikrowellengeneratoren sind bedeutend gr\u00f6sser, verf\u00fcgen jedoch meist \u00fcber eine elektronische Frequenzabstimmung. Erstmals wird hier ein miniaturisierter Leistungs-VCO (voltage-controlled oscillator) vorgestellt, der dieses Funktionsmerkmal ebenfalls besitzt. Infolge der substanziellen Platzeinsparung gegen\u00fcber konventionellen Generatorkonzepten er\u00f6ffnen sich damit neue technologische Perspektiven. Ein zentrales Einsatzgebiet stellt die Anregung von Mikrowellenplasma dar, welches verschiedene g\u00fcnstige Eigenschaften f\u00fcr die Prozesstechnik bietet wie etwa die Behandlung grosser Fl\u00e4chen. Kompakte Leistungsoszillatoren sind Grundlage f\u00fcr hochintegrierte Plasmaquellenmodule, die sich matrixf\u00f6rmig anordnen und auf grosse Areale ausdehnen lassen. Mit HF-Leistungshalbleitern des Ferdinand-Braun-Instituts wurde eine derartige Matrixplasmaquelle umgesetzt. Ihre Funktionsf\u00e4higkeit konnte anhand der Abscheidung d\u00fcnner, hochpr\u00e4ziser Schichten aus Aluminiumoxid gezeigt werden.","image":"https:\/\/images.thalia.media\/00\/-\/643e791d60ef4478abb9aaad0a47599f\/differentieller-mikrowellen-leistungsoszillator-fuer-die-realisierung-ultrakompakter-plasmaquellen-in-matrixanordnung-taschenbuch-christian-bansleben.jpeg","url":"https:\/\/www.vergleiche.ch\/unterhaltung\/product\/differentieller-mikrowellen-leistungsoszillator-fur-die-realisierung-ultrakompakter-plasmaquellen-in-matrixanordnung\/","min_price":49.89999999999999857891452847979962825775146484375,"low_price_merchant_id":70254503,"deeplink":"https:\/\/www.awin1.com\/pclick.php?p=33480521215&a=401125&m=13971&pref1=9783736995307","ean":9783736995307,"brand":"undefined"}