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In dieser Dissertation werden Maßnahmen zur Verringerung der Positionierunsicherheit einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine vorgestellt. Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Zur Verringerung der Temperaturempfindlichkeit wurden die zur Längenmessung verwendeten Planspiegelinterferometer konstruktiv verändert. Zudem werden die vertikalen, elektrodynamischen Antriebssysteme durch eine neuartige Gewichtskraftkompensation stärker entlastet... Mehr
